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分子泵故障处理 、操作规范及维护保养

发布时间:2021-11-16浏览次数:载入中...
分子泵故障:

  1、分子泵为何会发生半边热,半边冷的现象?



  原因:附近有光照或其他热源



  解决方法:避免光照或热源



  2、分子泵使用中发现油发黑,请问油为什么发黑?或者多长时间油才会变黑?



  原因:冷却不良,负载太大



  解决方法:检查冷却系统,检查真空系统



  3、分子泵在运转过程中,出现频率从正常下降至一定频率后又恢复到正常,之后又下降至一定频率,再恢复到正常,反反复复,更换电源后现象仍如此,请问该现象如何解释?



  原因:负载太大,系统真空度不够



  解决方法:检查系统



  4、分子泵轴承为什么会烧毁



  原因:①缺乏定期维护②冷却不良导致过热③没有及时换油④抽除的气体中含有大量粉尘



  解决方法:①及时维护②检查冷却系③及时换油④隔离粉尘



  5、有防护网保护,为什么还会有大块碎玻璃掉入泵内?



  原因:防护网破裂,前级管道破裂



  解决方法:优化系统设计



  6、真空度很好的情况下,分子泵油为何会返到前级管道?



  原因:油池破裂或密封不良



  解决方法:检查油池



  7、正常使用下,为什么分子泵油池会出现裂纹或者变形



  原因:过热,负载大



  解决措施:检查冷却系,检查系统



  8、分子泵中经常掉出顶丝、镙钉等物体,如M5的顶丝等,请问是否对分子泵的使用有影响?应如何解决?



  原因:应是偶尔发生的事情,可能是平衡中遗漏的平衡钉,对分子泵没有影响。



  解决方式:应是偶尔发生的事情,可能是平衡中遗漏的平衡钉,对分子泵没有影响。



  9、胶圈口分子泵要用多少卡钳,使用才安全?



  答:不作特殊限定,至少3个,按照法兰大小可选3、6、12、24等



  10、变频器电源在什么情况下会造成程序丢失或者错乱?



  答:①电压不稳②强干扰③高压打火④认为解密



  11、分子泵噪音大如何界定?是否有合格标准,是多少?



  答:小于72db合格,噪音的大小不太好界定,需要专用仪器和特定的测试环境



  12、分子泵是否对冷却有明确要求?如风冷需要外界温度是多少?如水冷则对水有何具体要求?如未达到要求会出现何后果?



  答:注意水温和水流量,冷却不良会导致无故停机、碎泵、油变黑等。



  13、分子泵电源存在接地、屏蔽等问题,应如何做才是最佳方式?



  答:电源本身有接地线,只需要保证市网有良好接地就可以了;屏蔽主要是指对强磁场和强辐射的屏蔽。



  14、变频器电源,转速上升过程中就自动关机,即显示“Poff”?



  答:原因:电压低



  15、分子泵叶片破碎的原因:



  答:造成分子泵转子、静子打碎的原因比较多,归纳起来主要是以下几点:



  ①、误操作;比如突然的破真空,因为转子与静子叶片之间的空隙非常的小,如果叶片的材质比较薄或者比较软,突然的空气阻力会造成叶片变形,这样可能会造成转子静子之间的摩擦,导致打碎。



  ②、是异物掉入;没有安装过滤网使肯定不行的,另外掉进去的东西不一定要多大,但如果硬度够了一样会造成伤害,轻则造成叶片边缘被打成锯齿状,重则打碎叶片。所以现在的设备商在安装分子泵的时候会尽量改为侧面90度或倒立安装,避免异物掉入。



  ③、电压的不稳定,特别对磁浮类的分子泵损伤较大。



  ④、前级泵的效率差;我们知道腔体内的大部分气体首先是通过前级泵抽出,真空达到一定程度分子泵才会启动。如果前级泵的效率差,分子泵就会比较吃力,启动速度慢,抽气时间长,电流高,分子泵温度升高等。



  ⑤、、分子泵保养时的动平衡没有做好,这是技术的关键,动平衡差,振动就大,抽气效率就差,也容易造成轴承部分的过度磨损。



  ⑥、轴承部分没有使用原厂的标准轴承,效果和尺寸不标准等。

  分子泵使用过程出现的问题
总体安装注意事项



  ①、安装前应检查分子泵运输中是否被损坏。



  ②、打开泵高真空端法兰盖板,戴好手套,拨动涡轮转子,应转动灵活,无异常现象。



  ③、安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。



  ④、确认防护网已安装,特殊情况下定做特殊防护网。



  ⑤、确认已装入润滑油。



  ⑥、安装方向:油绳润滑:竖直、水平;



   油润滑:竖直方向±5°范围内;



   脂润滑:任意角度

2油池安装注意事项
  ①、拆下注油



  ②、油量控制



  ③、油池卫生,防颗粒



  ④、对好、对称上紧螺钉,防止有漏

3进出口法兰、冷却水安装





  ①、泵入口:对正、对称拧紧



  ②、泵出口:防止错位



  ③、冷却水:无漏水;入口水压0.2MPa;水温20±5℃;水质澄清无沉淀



  注意:

环境温度:风冷需小于32℃;水冷可至40℃



  入口压强:强制风冷<0.1Pa;自然风冷<0.01Pa

4三、电缆安装注意事项





  ①、对正槽口插入



  ②、用螺母拧紧,边插边拧



  ③、检查到位

5振动隔离、冲击防护



  1分子泵振动极小,可直接接于被抽系统。



  对于高精密仪器的应用(如电子显微镜),建议使用隔振器,以便最大可能的减少振动。



  2冲击防护:高速旋转、间隙很小、柔性支撑



  机械振动(预抽泵、前级泵、机械动作等)

  气体振动(气量突变、压强突变)

  意外振动(掉入异物、碰撞等)



  注意:没有对泵进行必要防护,容易造成分子泵严重的破坏、甚至碎泵。

6大气载、热气体、突变气载



  a 引起问题:温度升高;动静片变形;转子上移;润滑失效5℃原则;轴承失效



  b. 措施:加大水冷;增加冷却装置;缩短换油时间

7磁场屏蔽出现的问题



  旋转的转子在磁场中产生涡电流,将使转子发热,将产生如下问题:



  ①、转子与定子间隙越来越小,造成碎片;



  ②、转子温升过大造成磁性电机转子退磁;



  ③、由于发热会减弱铝材料的强度,造成碎泵;



  ④、转子发热,改变转子和轴的相对位置,造成碎泵。



  分子泵在磁场中运转时,径向和轴向磁场强度均不得大于30Gs。原则上,大于30Gs应使用导磁材料屏蔽。

8分子泵启动的条件:


  ①、启动条件:连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度



  ②、启动时间:



  同时启动——小系统,防前级泵油上返。



  延迟启动——系统容积过大,先启动前级泵,至系统压强P=200Pa时,启动分子泵。
分子泵故障:

  

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